Покритието с магнетронно разпрашване е нов тип метод за физическо парно покритие, който използва система с електронна пушка за излъчване и фокусиране на електрони върху материала, който ще бъде покрит, така че разпръснатите атоми да следват принципа на преобразуване на импулса, така че материалът да има по-висока механична Имоти. Материалът, който ще бъде покрит, се нарича мишена за разпръскване, която включва главно метали, сплави и керамични съединения. FANMETAL може да предостави на клиентите висококачествени метални мишени като напр.Мишена за разпръскване на чист хром, цел за разпръскване на злато,Мишена за разпръскване от титан и алуминийи мишена за разпръскване на мед. Моля, изпратете ни имейл, за да ни кажете вашите нужди.
1. Чистота
Чистотата е един от основните показатели за ефективност на целта, тъй като чистотата на целта има голямо влияние върху представянето на филма. В практическите приложения обаче изискванията за чистота на целта също са различни. Например, с бързото развитие на микроелектронната индустрия, размерът на силициевите пластини е нараснал от 6", 8" на 12", а ширината на окабеляването е намалена от 0.5um на 0 .25um, 0.18um или дори 0.13um Предишната целева чистота беше 99,995 процента Може да отговори на изискванията на процеса на 0.35um IC, докато подготовката на {{15 }}.18um линиите изискват 99,999 процента или дори 99,9999 процента от целевата чистота.
2. Съдържание на примеси
Примесите в целевото твърдо вещество и кислородът и влагата в порите са основните източници на замърсяване на отложения филм. Целевите материали за различни цели имат различни изисквания за различно съдържание на примеси. Например мишените от чист алуминий и алуминиеви сплави, използвани в полупроводниковата индустрия, имат специални изисквания за съдържание на алкални метали и съдържание на радиоактивни елементи.
3. Плътност
За да се намалят порите в целевото твърдо вещество и да се подобри работата на напръскания филм, обикновено се изисква целта да има по-висока плътност. Плътността на мишената влияе не само върху скоростта на разпръскване, но и върху електрическите и оптичните свойства на филма. Колкото по-висока е целевата плътност, толкова по-добра е производителността на филма. В допълнение, увеличаването на плътността и здравината на целта прави целта по-способна да издържи на топлинния стрес по време на процеса на разпръскване. Плътността също е един от ключовите показатели за ефективност на целта.
4. Зърнометрия и зърнометричен състав
Обикновено целевият материал е поликристална структура и размерът на зърното може да варира от микрони до милиметри. За същия целеви материал скоростта на разпръскване на мишената с фини зърна е по-бърза от тази на мишената с едри зърна; и разпределението на дебелината на филма, отложен чрез разпръскване с по-малка разлика в размера на зърното (равномерно разпределение), е по-равномерно.
