Молибденовата мишена е специална метална мишена, изработена от молибден, използвана главно във високотехнологичните области. Молибденът, сребристо-бял метал, е известен със своята висока точка на топене и добра електрическа и топлопроводимост, което му позволява да остане стабилен в среда с висока температура или високо налягане. Поради това мишените от молибден играят важна роля в производството на полупроводници, технологията за отлагане на тънък слой, фотоволтаичната индустрия и медицинското оборудване за изображения. Молибденови цели могат да бъдат произведени чрез горещо изостатично пресоване (HIP), топене, химическо отлагане на пари (CVD) и физическо отлагане на пари (PVD). Всеки метод има свои собствени характеристики и обхват на приложение. Изберете подходящата технология за приготвяне. Зависи от крайната употреба на необходимата молибденова цел, изискваната производителност и икономически съображения.
Свързаната медна подложка не само подобрява целевата производителност, но също така помага за намаляване на оперативните разходи, което е особено важно за индустрии, които разчитат на дългосрочни, стабилни процеси на отлагане на тънък слой. Има следните предимства:
1. Подобрете ефективността на топлопроводимостта: Медта има изключително висока топлопроводимост (около 400 W/m·K), която е много по-висока от молибдена. Свързването на молибденовата мишена към медната поддържаща плоча може значително да подобри общата ефективност на топлопроводимост на мишената. По време на високоскоростни процеси на нанасяне на покритие, това помага за по-бързото отвеждане на топлината от молибденовата цел, като по този начин предотвратява прегряването на целта.
2. Намалете термичния стрес: По време на процеса на отлагане термичният стрес върху целевия материал може да причини пукнатини и счупвания. Високата топлопроводимост на медната поддържаща плоча спомага за равномерното разпръскване на топлината и намалява концентрацията на топлинно напрежение върху молибденовата цел, като по този начин намалява щетите, причинени от топлина.
3. Удължаване на експлоатационния живот: Чрез намаляване на топлинния стрес и подобряване на топлинната ефективност, медната задна плоча може значително да удължи експлоатационния живот на молибденовата цел. Тази комбинация помага за предотвратяване на преждевременно износване или повреда по време на употреба, което води до по-рядка подмяна и по-ниски дългосрочни разходи.
4. Подобрете механичната стабилност: Добавянето на медна опорна плоча също подобрява цялостната механична стабилност на мишената. Това е особено важно по време на процеси на високоскоростно отлагане, тъй като помага да се запази структурната цялост на целта и да се намалят щетите, дължащи се на механични удари или вибрации.
5. Силна адаптивност: Този метод на свързване може да регулира дебелината и формата на медната задна платка според различните изисквания на приложението, осигурявайки по-голяма гъвкавост и адаптивност. Това позволява на мишените от молибден да отговарят по-добре на изискванията на специфично оборудване и процеси за отлагане.
