Процесът на обратно покритие се отнася до процеса на отлагане на един или повече преходни слоеве метал/сплав върху не-напръсканата задна страна на мишената за разпрашаване чрез вакуумно покритие и други технологии за подобряване на здравината на свързване между мишената и опорната плоча. Това не само подобрява качеството на покритието на целта, но и удължава нейния експлоатационен живот.
Какво е "обратно покритие"?
Мишените за разпрашаване обикновено са структурирани като „целево тяло“ (основният компонент, използван за отлагане чрез разпрашаване, като керамични, медни или молибденови мишени) и „основна плоча“ (подложка, използвана за поддържане на мишената и разпределяне на топлина, обикновено изработена от медни или алуминиеви сплави). Двете се съединяват чрез заваряване или свързване.
„Задно покритие“ включва отлагане на слой от специфичен материал (обикновено метал с добра електрическа или топлопроводимост, като мед, алуминий или сребро) върху задната страна на целта за разпръскване (не-работната повърхност срещу повърхността на разпръскване) чрез физическо отлагане на пари (PVD) или други методи. Това създава три-слойна композитна структура: „целево тяло - заден слой на покритие - опорна плоча.“ Това покритие не участва в действителния процес на отлагане на тънък слой, но има значително влияние върху цялостната производителност и експлоатационния живот на целта.
Основните функции на задното покритие
1. Подобрен топлопренос и подобрено разсейване на топлината
По време на процеса на разпръскване целевата повърхност се бомбардира с високо-енергийни йони и приблизително 70% от енергията се преобразува в топлина, което води до рязко повишаване на целевата температура. Чрез покриване на гърба на мишената с високо топлопроводим материал, термичният контакт между мишената и охлаждащата опорна плоча може значително да се подобри, ускорявайки преноса на топлина от мишената към охладителната система и ефективно контролирайки работната температура.
2. Подобряване на електрическия контакт и осигуряване на стабилност на разряда
Магнетронното разпрашване разчита на образуването на стабилен плазмен разряд върху целевата повърхност. Задното покритие обикновено е направено от силно проводим материал, за да се намали контактното съпротивление, да се осигури равномерно разпределение на тока и да се подобри стабилността на разряда. Това е особено важно при-разпръскване с висока мощност (като HIPIMS).
3. Подобряване на механичното свързване и предотвратяване на отпадането на целта
Мишените обикновено се закрепват към метални опорни плочи чрез спояване или механично пресоване. Микроскопични празнини между мишената и поддържащата плоча или слаба връзка могат лесно да доведат до разслояване или отделяне при термичен цикъл и механични вибрации. Задното покритие действа като "преходен слой", подобрявайки омокряемостта и свързването между целта и поддържащата плоча.
4. Предотвратяване на замърсяване и окисление
Някои целеви материали реагират лесно с кислорода или водните пари във въздуха при високи температури, образувайки оксиден слой, който влияе върху ефективността на разпръскване и чистотата на филма. Задното покритие може да служи като физическа бариера за изолиране на гърба на целта от външната среда и предотвратяване на окисляване и замърсяване. Това е особено важно по време на съхранение и транспортиране на целта.
Типични процеси за-нанасяне на покритие
1. Магнетронно разпрашване: Медна или алуминиева мишена се използва за нанасяне на проводящ слой на гърба на мишената. Този метод е подходящ за-приложения с голяма площ, изискващи висока еднородност.
2. Галванично или безелектрическо покритие: Подходящи за проводими субстрати и са сравнително ниски-разходи, но изискват внимателен контрол на напрежението на покритието.
3. Термично пръскане: Този метод, като плазменото пръскане, е подходящ за сложни форми или нанасяне на дебел слой, но може да доведе до по-голяма грапавост на повърхността.
Горещи{0}}продавани цели на FANMETAL
Често срещани погрешни схващания
1. По-дебелото задно-покритие винаги ли е по-добро?
Не е задължително. Твърде дебелите задни-покрития могат да въведат напрежение при несъответствие при термично разширение, водещо до напукване. Обикновено дебелината се контролира между няколко микрона и десетки микрона, което изисква оптимизация въз основа на коефициента на топлинно разширение на материала.
2. Всички мишени изискват ли-задно покритие?
Не е задължително. За приложения с-разпръскване в малък{1}}мащаб, с ниска-мощност или краткотрайно-разпръскване, задното-покритие може да не е необходимо. Въпреки това, в индустриални приложения, изискващи висока мощност, големи площи и дълъг живот, задното-покритие се превърна в стандарт.
3. Влияе ли обратното-покритие върху целевото използване?
Самото-задно покритие не изразходва материал за пръскане. Вместо това подобрява цялостното използване чрез увеличаване на стабилността и продължителността на живота.
Заключение
Въпреки че задното-покритие на мишени за разпрашаване не участва пряко в отлагането на тънък слой, то е от решаващо значение за осигуряване на стабилни, ефективни и-дълготрайни процеси на разпрашаване. Чрез подобряване на топлопроводимостта, оптимизиране на електрическия контакт, повишаване на здравината на свързване и предотвратяване на замърсяване, той цялостно подобрява експлоатационния живот на целта (удължавайки го с 2-3 пъти), качеството на покритието (намаляване на нивата на дефекти) и стабилността на процеса (намаляване на риска от престой). Бъдещият технологичен напредък ще позволи на магнетронното разпрашване да замени традиционните процеси на изпаряване за отлагане на обратно покритие, позволявайки толеранси на дебелината в рамките на ±0,5 μm и допълнително оптимизирайки производителността на целта. Ако имате въпроси относно подробностите за този продукт или времето за доставка, моля, не се колебайте да се свържете с нас на admin@fanmetalloy.com. Очакваме вашето съобщение.
