1. Чистота
Чистотата на титановата цел има голямо влияние върху свойствата на разпръснатите филми. Колкото по-висока е чистотата на целта, толкова по-малко частици на примесен елемент в напръскания филм и толкова по-добра е производителността на филма (като устойчивост на корозия, оптични и електрически свойства). В практическите приложения изискванията за чистота на титаниеви мишени за различни цели са различни. . Например, изискванията за чистота на целите за общи декоративни покрития не са взискателни, докато целите за интегрални схеми, дисплеи и други области имат много по-високи изисквания за чистота, обикновено около 99,999 процента или повече.
2. Среден размер на зърното
Обикновено титановата мишена има поликристална структура, а размерът на зърната може да варира от микрони до милиметри. Скоростта на разпръскване на мишената с фини зърна е по-бърза от тази на едрозърнестата мишена. Разпределението на дебелината на нанесения със спрей филм също е относително равномерно. Средният размер на зърното на титаниеви мишени за интегрални схеми обикновено се изисква да бъде в рамките на 30 μm, а средният размер на зърното на ултрафинозърнестите титанови мишени е под 10 μm.
3. Кристална ориентация
Титанът има плътно опакована шестоъгълна структура. По време на разпръскване титановите целеви атоми лесно се разпръскват по посока на шестоъгълното разположение на атомите. Следователно, за да се постигне най-висока скорост на разпръскване, е възможно да се увеличи скоростта на разпръскване чрез промяна на кристалната структура на целта. скорост на разпрашаване. Посоката на кристализация на титаниевата мишена също има голямо влияние върху равномерността на дебелината на разпръснатия филмов слой, а размерът на филма на плоския дисплей и декоративното покритие е сравнително дебел, така че изискванията за ориентацията на зърната на съответната титанова мишена са относително ниско.
4. Геометрия и размер
Това се отразява главно в точността на обработката и качеството на обработката, като размер на обработката, плоскост на повърхността, грапавост и др. Малката дебелина ще повлияе на експлоатационния живот на целта; твърде грапавата уплътняваща повърхност и уплътняващият жлеб ще причинят проблеми с вакуума след монтиране на целта; нагрубяването на разпръскващата повърхност на мишената може да направи повърхността на мишената пълна с изпъкнали върхове, под действието на ефекта на върховете потенциалът на тези повдигнати върхове ще бъде значително увеличен, като по този начин ще се разруши диелектричният разряд. Прекомерно голямата изпъкналост обаче е вредна за качеството и стабилността на разпръскването.
Нашата компания може да осигури титанови сплави катоТитаниево-алуминиеви мишени за разпръскванеиМишена за разпръскване от Titanium Ti, както и титанови цели с различна чистота и форма, както и приемане на персонализирани услуги. Ако е необходимо, моля свържете се с нас по имейл.
