От структурна гледна точка мишената се състои основно от две части: „заготовка на целта“ и „задна плоча“. Целевата заготовка е целевият материал, бомбардиран от високоскоростен йонен лъч. Това е основната част от мишената за разпрашаване и включва контрол на метала с висока чистота и ориентацията на зърната. Задната плоча играе главно ролята на фиксиране на целта за разпръскване и включва процеса на заваряване. Понастоящем обичайните материали за задната плоча на мишената за разпрашаване включват главно безкислородна мед, медни сплави, молибден и материали за задна плоча на тръби от неръждаема стомана.
1. Причини за инсталиране на задна плоча
Сглобката на мишената се състои от заготовка за мишена с производителност на комбинирано разпръскване и задна платка, комбинирана със заготовката за мишена чрез заваряване. В процеса на разпръскване целевият възел е в тежка работна среда. Едната страна на задната платка е силно охладена от определено налягане на охлаждаща вода, докато едната страна на целевата заготовка е във вакуумна среда с висока температура, така че се образува огромна разлика в налягането на противоположните страни на целевия модул. В допълнение, едната страна на целта е бомбардирана от различни частици в електрическо поле с високо напрежение и силно магнитно поле и се генерира много топлина.
В такава сурова среда, за да се гарантира стабилността на качеството на филма и качеството на целевия монтаж, качеството на целевата заготовка и задната платка и скоростта на заваряване на свързване стават все по-взискателни, в противен случай е лесно да се води до деформация и напукване на целевия възел при горещи условия, което се отразява на качеството на филма и дори причинява повреда на основата за разпръскване.
2. Материали за производство на задната платка
Поддържащата плоча се използва главно за фиксиране на материала за целта за разпрашаване и трябва да има добра електрическа и топлопроводимост. По време на процеса на нанасяне на покритие с магнетронно разпрашване, целта трябва да издържа както на налягането на охлаждащата вода отзад, така и на вакуумното отрицателно налягане отпред. Задни платки от мед и медни сплави често се избират като целеви цокли, защото имат следните предимства:
(1) Висока топлопроводимост: може ефективно да отвежда топлината, генерирана върху целевата повърхност по време на процеса на разпръскване, към охладителната система. Това помага да се поддържа стабилна температурата на целта и предотвратява напукване на целта или влошаване на производителността поради прегряване.
(2) Има висока електрическа проводимост: може да подобри ефективността на токова проводимост по време на процеса на разпръскване. Това спомага за намаляване на загубите на съпротивление между мишената и магнетронната система за разпрашаване, като по този начин подобрява ефективността на разпрашаване.
(3) Висока механична якост: може да осигури стабилна опора. Това помага да се гарантира, че целта няма да се напука поради вибрации или напрежение по време на процеса на разпръскване.
(4) Равномерно разпръскване: Медната задна плоча може да подобри разпределението на електромагнитното поле на целта, като по този начин се постига по-равномерно разпръскване и подобряване на еднородността на филма.
(5) Удължаване на експлоатационния живот на мишената: Поради високата топлопроводимост и електрическа проводимост на медната опорна плоча, работната температура и загубата на съпротивление на мишената могат да бъдат намалени, като по този начин се забавя износването на мишената и се удължава неговата експлоатационен живот.
3. Процес на свързване на задната платка
(1) Предварително третирайте повърхността на целта и задната цел преди обвързване;
(2) Фиксирайте задната цел върху нагревателната маса, поставете целта върху задната плоча и я загрейте до температурата на свързване;
(3) Метализирайте мишената и задната мишена и запоете мишената към медната задна плоча;
(4) Свържете мишената и задната мишена, поставете противотежест върху повърхността на мишената далеч от медната опорна плоча и отстранете противотежестта, след като мишената се охлади;
(5) Постобработка на охлаждане.
