Целевото разпръскване, като основната технология на повърхностното инженерство и тънкослойната технология, се отнася до използването на йони или други заредени частици за поразяване на целта във високоенергийно състояние, като по този начин задейства преноса на кинетична енергия и материалния транспорт на целевите атоми или молекули . Възбудените атоми или молекули се отделят от целевата повърхност и се отлагат върху субстрата с високоскоростно движение, образувайки тънък филм с равномерна или специфична структура.
1. Класификация
(1) DC разпръскване
Принцип: DC разпръскването използва източник на постоянен DC захранване като източник на енергия и е подходящо главно за цели с добра проводимост, като метали.
Характеристики: Има предимствата на просто оборудване, лесна работа и висока скорост на отлагане. Това не се отнася за изолационните материали, тъй като те не могат да осигурят ефективен транспорт на заряда.
(2) Радиочестотно разпръскване
Принцип: Радиочестотното разпръскване използва радиочестотна мощност (обикновено в диапазона MHz), така че непроводими материали (като керамика, оксиди) също могат да бъдат разпръснати.
Характеристики: Възможност за разпръскване на изолационни материали с по-висока равномерност на отлагане. Въпреки това, поради сложната система за захранване и контрол, разходите и трудността при поддръжката са относително високи.
(3) Магнетронно разпрашване
Принцип: Въз основа на традиционното разпръскване, магнитно поле се генерира чрез поставяне на магнити близо до целта, като по този начин се повишава плътността и стабилността на плазмата.
Характеристики: Подобрена ефективност на разпръскване и качество на филма, намалена целева консумация. Може да работи при по-ниско въздушно налягане, като по този начин намалява въздействието на газовите частици върху филма.
(4) Реактивно разпръскване
Принцип: По време на процеса на разпрашаване, реактивни газове (като кислород, азот) се въвеждат в работната атмосфера, за да реагират химически с целевите атоми, за да образуват съставен филм.
Характеристики: Могат да се приготвят различни съставни филми, като оксиди, нитриди, карбиди и др. Контролът обаче е сложен и изисква прецизно регулиране на скоростта на потока и налягането на реактивния газ.
(5) Високомощно импулсно магнетронно разпръскване
Принцип: Използвайте импулсно захранване с висока мощност, за да генерирате плазма с висока плътност за кратък период от време, за да увеличите скоростта на разпръскване.
Характеристики: Могат да се получат по-гладки и по-плътни филми. Но поради високата консумация на енергия управлението на топлината и издръжливостта на устройството се превръщат в предизвикателство.
2. Приложение
(1) Полупроводникова индустрия
Технологията за разпръскване се използва за нанасяне на проводими, изолационни и екраниращи слоеве, които са критични за производството на високопроизводителни интегрални схеми и микроелектронни устройства.
(2) Оптични приложения
Огледала и антирефлексни покрития: Тънки филми, приготвени чрез техники за разпръскване, могат да се използват за производство на различни оптични компоненти като лещи, лещи и огледала в лазерни системи. Светлопоглъщащият слой и проводимият слой в слънчевите клетки също често се приготвят чрез разпръскване.
(3) Декоративно покритие
Автомобилна и строителна промишленост: Напръсканите филми се използват за декоративни покрития върху автомобилни части и строителни материали, като не само осигуряват естетичен външен вид, но и повишават устойчивостта на материала на износване и корозия. Корпусите и декоративните части на потребителската електроника като мобилни телефони и компютри също често използват технология за разпръскване за покриване на устойчиви на износване и красиви филми.
(4) Специални функционални филми
Може да отлага филми с висока твърдост и устойчивост на износване върху повърхностите на инструменти и форми, за да удължи живота на инструмента. Освен това разпръснатите филми могат да се използват за регулиране на пропускливостта на светлината в технологията за интелигентни прозорци за сгради и автомобили.
(5) Биомедицинска област
Биосъвместимите филми обикновено се отлагат чрез техники на разпръскване, за да се подобри съвместимостта на изкуствените стави или зъбните импланти с човешкото тяло.
FANMETAL може да предостави на клиентите различни метални мишени за разпръскване, като титаниево-алуминиеви мишени за разпръскване, волфрамови мишени и хромирани метални мишени за разпръскване и др.
